PFCs (과불화화합물, perfluorocompounds. CF4, NF3, SF6 등)를 제거하는 촉매와 반응제를 개발하였다.   수증기를 분사하여 PFCs를 가수분해방식으로 제거하는 촉매방식은 수명이 1년 이상으로 길어서 고농도 PFCs를 장기간 제거하는 용도로 적합하다.  다만, 촉매 후단으로 HF, SO2, SO2F2가 배출되기 때문에 이를 제거하는 습식스크러버가 필요하다.           SF6 … Continue reading →